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MarSurf XC 2

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MarSurf XC 2

  • 所属分类:轮廓仪

  • 点击次数:
  • 发布日期:2015/03/05
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详细介绍
轮廓测量软件特征:
• 建立回归直线和圆形
• 建立点、交点、自由点、中心点、最高点和最低点
• 建立坐标系统
• 计算半径、距离、角度、坐标及线性偏差

技术数据
驱动单元 CD 120 
扫瞄长度 (X方向) 0.2 mm 至 120 mm (0.0079 in x 4.72 in)
测量范围 (Z方向) 50 mm (1.97 in), 适用于 350 mm (13.78 in) 测臂
                 25 mm (0.98 in), 适用于 175 mm (6.89 in) 测臂
测量系统 (X方向) 高精度光栅测量系统(出厂经激光干涉仪校准)
测量系统 (Z方向) 电感传感器*, 高精度, 高线性度
测针分辨率( Z方向) 0.38 μm (15 μin), 适用于350 mm (13.78 in) 测臂
                   0.19 μm (7.5 μin), 适用于175 mm (6.89 in) 测臂
测量系统分辨率( Z方向) 0.04 μm (1.6 μin)
行程偏差 < 1 μm (40 μin) (在120 mm (4.72 in)全行程内)
测力 (Z方向) 1 mN 至 120 mN, 向上和向下
(可在 MarSurf XC 2设定)
行程升角 在光滑表面, 取决于表面倾斜程度:
向下降低时不超过 88°, 向上上升时不超过77°
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