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MarSurf LD 120

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MarSurf LD 120

  • 所属分类:轮廓仪

  • 点击次数:
  • 发布日期:2015/03/05
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详细介绍
MarSurf LD 120. 二合一. 一次扫瞄可完成对轮廓及粗糙度测量
技术特征
• 磁性测臂夹持装置可以支持不同的测头, 具有大的适用范围, 保证高水平可靠性的大前提下, 测臂可轻松更换
• 更换测头后的定位精度为纳米级, 防撞保护、坚硬和高稳定的测头具有纳米级的分辨率
• 可靠的测量结果, 得益于高精度的校准过程
技术数据
扫瞄长度 (X方向) 0.1 mm 至 120 mm (0.0039 in 至 4.72 in)
测量范围 (Z方向) 10 mm (0.39 in), 适用于100 mm (3.94 in) 测臂(标准)
                 20 mm (0.79 in), 适用于 200 mm (7.87 in) 测臂
测量系统 :光学干涉测量系统
标准测头测尖 LD A14-10-2, 刚钻 2 μm (79 μin), 90°和 LD A-14-10-500 (轮廓)
分辨率(Z方向) 2 nm (0.08 μin)
水平测量轴 玻璃光栅尺
测量间距X轴 0.05 μm 至1 μm (20 μin 至 40 μin)
测力 0.5 mN 至 30 mN (通过软件调整)
测量速度 0.1 mm/s 至 2.0 mm/s (0.0039 in/s 至 0.079 in/s)间隔 0.1 mm/s (0.0039 in/s) 对轮廓测量0.1 mm/s 至 0.5 mm/s (0.0039 in/s to 0.020 in/s)对粗糙度测量
位定及返回速度 X 方向 最大 4 mm/s (0.16 in/s)
行程偏差 0.12 μm/20mm (4.72 μin/0.79 in)
         0.25 μm/60 mm (9.84 μin/2.36 in)
         0.4 μm/120 mm (15.75 μin/4.72 in)
角度测量 u95 < 0.5‘
半径测量 u95 = ± 0.01 % 对标准值 R 12.5 mm (0.49 in) D
距离测量 ± (1+L/100) μm

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